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CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介
常規(guī)CVD系統(tǒng)由管式爐、流量混合器、真空體統(tǒng)三部分組成。改系統(tǒng)可以滿足絕大部分氣氛或真空環(huán)境下的小樣品試驗。每個部分都可以單獨匹配成不同部件以滿足不同的實驗條件，如流量計可以選擇浮子流量計或質(zhì)量流量計，單通道或多通道，管式爐可以選擇1200℃/1500℃/1700℃單溫區(qū)或者多溫區(qū)爐子。
主要參數(shù)
型號 | QJ1200-CVD60 | QJ1700-CVD60 |
工作溫度 | ≤1100℃ | ≤1600℃ |
升溫速率 | 10℃/min | 10℃/min |
氣體預(yù)熱區(qū) | 無 | 200mm |
加熱區(qū)長度 | 200/440mm | 200/300mm |
恒溫區(qū)長度 | 100/220mm | 50/100mm |
管徑 | 50/6/80/100mm | 50/60/80mm |
控溫方式 | 30段PID程序控溫 | 30段PID程序控溫 |
真空泵 | 機械泵/分子泵 | 機械泵/分子泵 |
真空度 | ≤10-3Pa | ≤10-3Pa |
進氣種類 | 1~4種 | 1~4種 |
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